一、測試環境參數

1. 測試溫度范圍

• 中高溫測試：125-175℃（消費電子、工業控制）；

• 高溫可靠性測試：175-250℃（汽車電子、航天）。

• 基礎范圍：通常覆蓋 -55℃（低溫輔助）至 + 250℃，特殊場景（如汽車發動機艙、航空電子）需擴展至 +300℃甚至 + 400℃（如 SiC 功率器件）。

• 典型分區：

2. 溫度控制精度與均勻性

• 控制精度：≤±1℃（基礎測試），可靠性測試需 ±0.5℃（避免溫度波動導致參數漂移誤判）。

• 溫區均勻性：測試腔內任意兩點溫差 ≤2℃（針對多樣品并行測試，確保樣品受力一致），采用熱風循環或紅外加熱實現均勻控溫。

3. 升溫 / 降溫速率

• 升溫速率：5-10℃/min（常規測試），快速熱沖擊測試可達 20℃/min（模擬溫度變化）。

• 降溫速率：3-5℃/min（自然冷卻）或強制風冷 / 水冷（10℃/min），需避免速率過快導致器件熱應力開裂（尤其陶瓷封裝器件）。

4. 環境氛圍

• 大氣環境：默認空氣氛圍（適用于非敏感器件）；

• 惰性氣體保護：對易氧化器件（如 GaN、SiC），需通入氮氣（純度≥99.999%）或氬氣，氧含量控制在 ≤10ppm，防止高溫下金屬電極氧化。

• 濕度控制：部分測試（如高溫高濕偏壓測試）需控制濕度 30-90% RH（配合溫度 85-150℃，模擬濕熱環境）。

二、電性能測試參數

1. 電參數測量范圍與精度

• 電壓：測試范圍 0-1000V（覆蓋芯片工作電壓 VDD 至擊穿電壓 BV），精度 ±0.1%FS（滿量程），分辨率≤1mV（適用于低電壓器件如 MCU）。

• 電流：測試范圍 1nA-100A（涵蓋漏電流至工作電流），精度 ±0.5%FS，分辨率≤1pA（關鍵參數如 MOSFET 的柵極漏電流 Igss）。

• 頻率：針對高頻器件（如射頻芯片），測試頻率覆蓋 1kHz-10GHz，精度 ±0.1%（避免高溫對寄生參數的影響誤判）。

2. 測試參數類型
   根據器件類型定制監測參數：

• 晶體管（MOSFET/BJT）：閾值電壓 Vth、導通電阻 Rds (on)、擊穿電壓 BVdss、漏電流 Idss；

• 芯片（MCU/IC）：靜態電流 Iddq、動態功耗、時序延遲、邏輯功能（高溫下是否出現邏輯翻轉）；

• 傳感器：靈敏度、線性度、零點漂移（如高溫壓力傳感器的輸出偏差）。

3. 偏置條件

• 施加電壓 / 電流：通常為器件額定值的 80%-120%（模擬重載或極限工作狀態），如 VDD=3.3V 的芯片，高溫偏置可能設為 3.6V（110% 額定值）。

• 偏置方式：直流偏置（靜態測試）或脈沖偏置（動態測試，避免偏置功耗導致器件自熱，干擾環境溫度）。